12月23日，元禾辰坤管理的母基金所投子基金——君联资本投资企业「微导纳米」科创板上市，股票代码：688147。

微导纳米成立于2015年，以原子层沉积（ALD）技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS等半导体相关领域，以及柔性电子领域，是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造生产线的国产设备公司。其设备总体表现和工艺关键性能参数达到国际同类水平，填补了我国在该项半导体设备上的空白。

自成立以来，微导纳米在原子层沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术、纳米叠层薄膜沉积技术、高质量薄膜制造技术、工艺设备能量控制技术、基于原子层沉积的高效电池技术等前沿科技领域持续构筑和强化技术壁垒，并在此基础上继续深化ALD技术在下一代光伏电池、集成电路、先进存储等方面的技术储备，为客户提供更丰富的高端薄膜沉积产品。

凭借ALD技术的核心竞争优势，微导纳米已经获得通威股份、隆基绿能、晶澳科技、阿特斯、天合光能在内的多家知名太阳能电池片生产商的广泛认可。